IGF-Nr.: 12.621N / Präzisions-Lötverfahren für die MEMS-Technik (microelectromechanical systems)

Produktinformationen

Ziel des Forschungsvorhabens ist es, ein PVD-Belotungsverfahren für das Löten mikromechanischer Bauteile zu entwickeln, so dass die zu lötenden Bauteile in nur einer Vorrichtung positioniert werden, die daraufhin sowohl im PVD- als auch im Lötprozess eingesetzt wird, um so im Nutzen, d.h. in größeren Stückzahlen ohne weiteren Handhabungsaufwand zwischen den Prozessen direkt (makroskopisch) chargieren zu können. Nach dem Vakuumlötprozess sollen derartigen Vorrichtungen gelötete mikromechanische Bauteile entnehmbar sein, die entsprechend konstruktiven, maschinentechnischen Anforderungen gerecht werden und somit als präzisionsgelötet bezeichnet werden können. Hierzu sind keramische Lötlehren zu entwickeln, in denen das Mikroteil sowohl positioniert im PVD-Verfahren mit genau einstellbaren Lotmengen bedampft und anschließend in derselben Aufspannung im Vakuumofen gelötet werden kann. Mit diesen Lehren werden Untersuchungen zur Lotapplikation durch lonenplattieren und Vakuumlichtbogenverdampfen durchgeführt und sollen Präzisionslötverbunde hergestellt werden. Weiter ist vorgesehen, über geeignete Modellierung Berechnungsvorschriften zur Simulation der Lötvorgänge aufzustellen.
Als Entwicklung im Rahmen der Zukunftstechnologie Mikrosystemtechnik kommt dem Forschungsvorhaben eine erhebliche wirtschaftliche Bedeutung zu, wobei kleine und mittlere Unternehmer, z.B. in der Medizintechnik, einen großen Marktsektor besetzen können.
Der Ergebnistransfer erfolgt über den DVS-Arbeitskreis und -gremien sowie über übliche Veröffentlichungen.

ISBN

978-3-96870-006-9

Reihe

DVS Forschungsvereinigung,

Band

Band: 7

Erscheinungsdatum

September 2002

Bindung

E-Book im PDF Format

Seiten

41